
产品概述:
主要用于4-8英寸砷化镓、磷化铟等化合物单晶生长
设备由机架、安瓿支撑机构、加热器和控制系统组成
能够实现安瓿移动和转动的精确控制
产品特点:
工业计算机控制系统(WINDOWS系统界面,操作方便简洁)
关键部件均采用进口,确保设备的高可靠性
控温精度高,温区控温稳定性好
具有断电报警、超温、欠温报警、极限超温报警等多种安全保护功能
速度可调的梯形波、三角波及正弦波等旋转功能
单晶质量高
技术指标:
晶片类型:4/6英寸 工作温度范围:1100℃
加热器最高温度:1250℃ 控温精度:±0.5℃
控温段数:4段 炉腔压力:4MPa
应用范围:
广泛用于材料的坩埚下降的单晶生长