产品概述：

●微波等离子化学气相沉积技术（MPCVD），通过等离子增加前驱体的反应速率，降低反应温度。适合制备.面积大、均匀性好、纯度高、结晶形态好的高质量的金刚石单晶和多晶薄膜。

技术指标：

●测温：300-1500°C

●极限真空：5*10E-4Pa

●气路系统：6路

● 压力范围：5-300Torr

●微波功率：0.5-15Kw连续可调

● 功率稳定性：<2%

●波纹：≤1%

● 微波频率：2450MHz±50MHz

●微波泄露值：<5Mw/cm2

● 放电区域：≥100mm

●沉积区域：≥80mm

● 生长速率：>12um