产品特点：
●石墨烯薄膜产业化设备
●宽幅卷对卷连续生长
●APC系统：真空蝶阀自动控制
●碳源等工艺气体MFC控制
●薄膜制备过程全自动控制
●三腔室结构
技术指标：
●工作温度：800-1050℃
● 恒温区：1000mm、五段控温
●工艺管材质：石英管
● 工艺管内径：Φ550mm
●铜箔宽度：500mm
● 铜箔运行速度约：100-400mm/min，可调
●极限真空度：小于3Pa，可恒压控制
